電子超純水設備技術簡介
目前電子行業的超純水設備流程基本上是以下三種,其余的流程都是基于以下三種基本流程的不同組合衍生出來的。它們的優缺點如下:
超純水設備進程1:
電子行業超純水是由反滲透水處理設備和離子交換設備組合而成。
基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→jingmi過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(雙床)→超純水箱→超純水泵→后保安過濾器→水點
特點:初期投資略高于使用離子交換樹脂,但離子再生周期相對較長,酸堿消耗比單獨使用離子交換樹脂少得多。是目前比較經濟、比較普及的技術。
超純水設備流程2:
離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方法。
基本工藝流程如下:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→jingmi過濾器→中間水箱→正床→負床→混床(復合床)→超純水箱→超純水泵→后anquan過濾器→水點
優點:初期投資少,占用空間少,缺點:離子再生需要經常進行,消耗大量酸堿,破壞環境。
超純水設備過程3:
電子行業的超純水是通過反滲透設備與EDI設備的配合來制備的。
這是一種超純水的制備工藝,也是一種環保、經濟、有潛力的超純水制備工藝。其基本工藝流程如下:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→jingmi過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后保安過濾器→水點
特點:是目前制備超純水的先進環保工藝。超純水可由超純水設備連續制備,無需酸堿再生,對環境無損害。缺點是相對于以上兩種方式,初期投資太貴。